讲座题目：飞秒高次谐波极紫外激光及其多模式纳米成像技术 主讲人：张晓世 研究员 主持人：宫晓春 研究员 开始时间：2023-02-14 10:00 讲座地址：光学大楼A508、腾讯会议：239-292-200 主办单位：精密光谱科学与技术国家重点实验室
报告人简介： 张晓世研究员，中国科学院空天信息创新研究院博士生导师，中国科学院大学首席教授，国家高层次人才。中国科学技术大学学士，美国科罗拉多大学博尔德分校，美国国家标准局和实验室天体物理联合实验室联合培养博士。 长期从事飞秒激光、极紫外激光、极端非线性光学以及相干衍射成像等领域的研究及其工程化和商业化应用。曾任职于美国超快激光器公司KMLabs Inc.，先后担任激光科学家、极紫外激光技术经理和研发首席科学家，带领团队研发出世界上首台商业化极紫外飞秒激光器，研制出低温冷却高能量高重频飞秒激光器，斩获2013年美国CLEO展会颁发的Laser Focus World创新一等奖和2016年美国西部光电展会颁发的Prism Award奖。在Nature Photonics、Nature Physics、PRL、Optica等国际知名期刊发表论文共50余篇，SCI引用逾5000次，重要学术会议上做邀请报告20多次。曾担任Optics Letters的co-editor、SPIE Advanced Lithography分会委员会委员以及SPIE Photonics Asia，CIOP委员会委员。目前以项目负责人承担国家重点研发十四五揭榜挂帅项目“高功率、高性能极紫外飞秒激光技术”、国内知名公司项目“13.5纳米高次谐波极紫外光源”以及中科院创新人才项目。 报告内容： 极紫外和软X射线光波拥有极短波长和丰富的元素吸收边，是研究纳米结构、半导体器件、量子材料必不可少的工具。随着极紫外光刻技术实现量产，极紫外光应用也正式“走入”千家万户。虽然同步辐射加速器、自由电子激光器等大型光源可解决极紫外或软X射线应用的燃眉之急，但是其超大空间占用、高能耗、高造价以及固定而有限的光源数量，极大限制了其广泛应用。迄今为止，高效率、低成本产生极紫外/软X射线光仍是困扰科学家们的一个重要难题。近三十年随着强场超快物理的发展，基于隧穿电子重俘获产生的极端非线性飞秒高次谐波技术，成为产生桌面化、小型化超快极紫外软X射线光源最简易的方法。经过20多年技术磨练和积累，高次谐波光源已经在材料科学和半导体芯片检测等领域应用中初露锋芒。本报告将从极紫外激光技术的难点出发，讨论高次谐波极紫外激光技术的原理及其发展现状，并介绍其在纳米成像，半导体检测以及量子器件中的重要应用。 |
